Laboratorio de Microfabricación
Descripción
El Laboratorio de Microfabricación es un laboratorio abierto a la comunidad chilena de investigación y desarrollo de micro y nanodispositivos. Su principal objetivo es implementar las técnicas de microfabricación de vanguardia y ponerlas a disposición de universidades y centros de investigación chilenos, así como proveer servicios de microfabricación para empresas.
El laboratorio opera al interior del Departamento de Física, en la sala limpia de clase 1000, primera en su tipo en ser implementada en Chile. El equipamiento disponible permite implementar procesos de litografía óptica UV con resolución micrométrica, evaporación de metales y procesos de lift-off. El laboratorio funciona como una instalación de microfabricación con un espíritu abierto y colaborativo.
Equipamiento e instrumentos
- Laser Writer, MLA100, Heidelberg Instruments.
- Metal evaporator, HEX-L Base 300, Korvus Technology.
- Plasma cleaner, PDC 002, Harrick Plasma.
- Hot plate, Polos 200, SPS.
- Dos campanas de extracción.
Dirección
Beauchef 850, Santiago, Región Metropolitana.
Contacto
Académica responsable: María Luisa Cordero (mlcordero@uchile.cl). Teléfono: +56 2 2978 4347.
Equipo
| Nombre | Cargo | Correo | Teléfono |
| María Luisa Cordero | Académica responsable | mlcordero@uchile.cl | +56 2 29784347 |
| Andrés Espinosa | Técnico de laboratorio | aespinosac@ing.uchile.cl | +56 2 29784521 |
Proyectos asociados al laboratorio
- Fondecyt regular 1251844, financiado por ANID.
- Fondecyt regular 1241621, financiado por ANID.
- Fondecyt regular 1220984, financiado por ANID.
